林德的气体凭什么征服了国内的晶圆厂?

在集成电路产业链里,气体应该是谈得比较少,但又非常重要的一个领域。因为从一大块的硅片,到一颗颗die的过程中,无论是沉积、蚀刻、光刻、掺杂、退火或者腔室清洗,任何一道工序都离不开电子气体,随着这几年集成电路状态的火热,加上中国大陆的急起直追,市场对气体产业的需求到了前所未有的高度。
但和半导体产业链的很多领域一样,这个高速增长的市场只有几个大的玩家:分别是美国空气化工、美国普莱克斯、德国林德集团和法国液化空气四大公司把持。考虑到中国大陆正在上马产能巨大的晶圆代工厂和存储工厂,如何保证高质量、安全可靠的气体供应,就成为了从业者关注的重点。林德集团作为电子气体产业的领头羊,他们正在加紧国内布局,助力中国产业升级。

#阅读材料 来源 #半导体行业观察

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