泛林集团：原子层刻蚀大批量生产在即

关于摩尔定律的未来，一千个人心里有一千个答案，泛林集团执行副总裁兼首席技术官Richard Gottscho博士的观点则是：虽然面临着各种挑战，但摩尔定律将一如既往得有效。

“摩尔定律继续发展已不仅仅指简单的微缩，无论是从2D向3D转变或是其他方式，产业界始终都有方法让芯片的密度和性能继续提高，而能耗和成本持续降低”，Richard Gottscho博士强调。而他谈到的其他方式就包括了原子层刻蚀。

#阅读材料 来源 #半导体行业观察

https://mp.weixin.qq.com/s/yx-zyV4xXxup8itFiarZDg