EUV真的准备好了么?

虽然芯片制造商希望能够尽快在7nm和5nm工艺中普及极紫外线光刻技术,也就是我们通常所说的EUV,但是,现实往往是残酷的!在芯片厂商坚持不懈的努力当中,他们悲哀的发现,EUV在应用当中,依然存在着这样或那样的问题,阻碍着这一技术用于实际的生产,这也是目前EUV工艺再三推迟的原因之一。

#阅读材料 来源 #半导体行业观察

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